Несправності двигуна вакуумного насоса можна розділити на дві категорії: механічні та електромагнітні: перші, такі як розгортання камери (зовнішнє коло ротора терться об внутрішнє коло статора), знос підшипників тощо, тоді як останні в основному виникають на обмотці. Принцип перевірки полягає в тому, щоб почати зовнішній, потім внутрішній, потім механічний, а потім електромагнітний.
Щоб діагностувати несправність, слід спочатку зрозуміти ситуацію, в якій виникла несправність, особливо зміни до та після несправності. Спостерігайте за будь-якими ненормальними умовами двигуна, такими як ослаблені, тріснуті або пошкоджені торцеві кришки, вентилятори, торцеві кришки та корпуси, заблоковані повітропроводи, зігнуті вали та будь-які особливі запахи. Визначте, чи це запах паленої ізоляційної фарби, розплавленого та випарованого мастила чи інші запахи. Оберніть ротор вручну та прислухайтеся до будь-якого тертя стороннього предмета чи звуку тертя між статором і залізним сердечником ротора. Якщо електродвигун все ще можна запустити, слід звернути увагу на те, чи немає незвичних звуків під час запуску та роботи. Доторкніться рукою до кожної частини двигуна, щоб перевірити ступінь нагріву та чи немає локального перегріву (наприклад, камера підшипника гарячіша за інші частини) і вібрації.
Пошкодження обмотки трифазних асинхронних двигунів значною мірою викликано роботою з втратою фази. Так звана операція втрати фази стосується раптового відключення однієї фази у працюючому двигуні, у той час як двигун продовжує працювати. Через надмірний струм обмотка неминуче перегорає. Коли відбувається втрата фази, звук двигуна вкрай ненормальний. Якщо це виявлено, слід негайно відключити електроенергію та зупинити транспортний засіб для перевірки.
Крім того, також часто зустрічаються несправності обмотки через коротке замикання. Коротке замикання обмотки можна розділити на коротке замикання однофазної обмотки на землю, а саме заземлення, коротке замикання двофазної обмотки на фазу та однофазну обмотку на коротке замикання витка.
Коли ізоляція між обмоткою та залізним сердечником пошкоджена, виникає замикання на заземлення. Через високу силу струму обмотка точки заземлення може перегоріти або дріт запобіжника може розплавитися, що призведе до втрати фази. Якщо корпус заздалегідь не буде надійно заземлений, через заряджання корпусу може статися ураження електричним струмом. Визначити замикання на землю неважко за допомогою мегомметра або перевірки послідовно з’єднаних лампочок. Коротке замикання між фазами може бути викликане не тільки пошкодженням ізоляції, але й металевими сторонніми предметами всередині двигуна (такими як залізна стружка, алюмінієва стружка, гвинти, дротяні головки, зерна припою тощо). Міжвиткове коротке замикання - це коротке замикання між проводами самої фазної обмотки, що призводить до зменшення ефективного числа витків обмотки і надмірного струму. Міжвиткові короткі замикання можуть бути виявлені за допомогою трансформаторного принципу для створення детектора короткого замикання.